成都三氟甲烷稀有氣體(tǐ)介紹：

一(yī)、物(wù)化性質

外(wài)觀性狀 無色氣體(tǐ)

折射率 1.00043 (25oC)

熔點 ?160 °C(lit.)

密度 1.246

水溶解性 slightly

沸點 ?84 °C(lit.)

蒸汽密度 2.43 (vs air)

二、三氟甲烷的用途

1、用作超臨界萃取法溶劑、低溫制冷劑。及作爲滅火(huǒ)劑和制造四氟乙烯的原料,電子工(gōng)業等離(lí)子體(tǐ)化學蝕刻劑及氟有化合物(wù)的原料。

2、電子級氟仿是微電子工(gōng)業廣泛應用的等離(lí)子蝕刻氣體(tǐ)之一(yī),尤其是對二氧化矽膜的刻蝕,具有刻蝕速度快,選擇性好的優點。此外(wài),氟仿還用于低溫混合制冷劑、有機合成中(zhōng)間體(tǐ)、紅外(wài)檢測器直接冷卻劑等。

3、用作低溫緻冷劑及作爲滅火(huǒ)劑和制造四氟乙烯的原料。